고속 로터리 테이블 구름마찰방식 감속기 고속테스트완료후 제품출시 1. 연삭 로터리 조건으로 빠른 회전체가 필요함. 2. 실리콘 웨이퍼의 직경이 커짐에 따라 까다로워진 평탄도 요구조건을 충족시킬 수 있는 정밀도필요. 3. 특정 각도에서의 분할작업이 가능할 것. 4. 실리콘, 쿼츠, 세라믹 등의 연삭시 발생되는 미세분진과 슬러지 등 유입방지 기능이 되어 있습니다. 양헌기공 제품은 구름마찰방식 회전체이면서 예압 회전체입니다. 위 사양에 적합합니다.